壓電式振動傳感器由于具有自供能、體積小、重量輕、抗電磁干擾能力強、靈敏度高、可靠性好和成本低等特點,是目前航空發動機、燃氣輪機等振動測量的首選。壓電式振動傳感器基于壓電效應,將輸入的振動信號轉換為電信號,診斷發動機是否發生故障或存在故障隱患,從而實現對發動機的健康監測和故障預測。
壓電式振動傳感器由于輸出信號微弱、易受環境影響、不便于采集和傳輸等問題,無法用一般電路來測量。針對上述問題,陳豪設計了AD820為核心的放大電路,對1Hz以下的低頻電荷信號進行放大;張斌婷等設計了基于ADA 4817的電荷靈敏型放大器,實現了對脈沖信號的放大,性能接近A250電荷靈敏型放大器;任勇峰等設計了以LMC6081為核心的電荷放大器,經試驗測試,電路在2倍通頻帶處衰減可以達到-60dB,實現了對沖擊信號的放大。
相比于傳統壓電式振動傳感器,基于鈮酸鋰薄膜的壓電 MEMS振動傳感器,采用鈮酸鋰單晶作為壓電材料。鈮酸鋰單晶屬于一種無鉛且穩定的鐵電材料,是一種性能優良的壓電傳感材料。基于鈮酸鋰薄膜的壓電MEMS振動傳感器具有輸出性能高、靈敏度穩定和頻帶寬的特點。而對鈮酸鋰薄膜壓電MEMS振動傳感器的信號調理電路報道不多。為了對鈮酸鋰薄膜壓電MEMS振動傳感器輸出的微弱電荷信號進行采集,提出了一種基于集成芯片TLE 2064 CDR的信號調理電路方案,所設計的信號調理電路與標準電荷放大器的輸出有較好的一致性,可以滿足5~130pC的寬輸入電荷的采集。