電渦流式傳感器被廣泛用于振動頻率和位移量值的檢測。它是利用通以交變電流通過電感線圈產生的交變磁場,使與其磁路一端相互垂直的金屬板表面產生像水流中的旋渦一樣的。感應電渦流和渦流反射磁場的“電渦流效應”的原理,反射磁場作用于原磁場,抵消原磁場的一部分,進而使線圈的有效阻抗、等效電感、等效電阻及Q值發生變化。這些參數的變化,都是互感系數M的函數。線圈與金屬渦流板間距越小,耦合越緊密,M就越大,“渦流效應”引起上述參數的變化也越大。
應用麥克斯韋互感系數的公式,求出M與兩者之間距離的函數關系和各項參數的函數關系,通過測量電渦流強度、應用相應的振動位移校準裝置標定電渦流與位移距離的定量關系,采用數字電流表測量傳感器輸出電流,即可測量機械振動的位移量。電渦流的交變頻率則直接對應振動頻率。采用不大于M10的直徑較小的電渦流傳感器,與測速齒輪盤配套,可用于轉速測量。由測速齒輪盤、渦流探頭和前置器及供電電源(通常為-24V直流電源)組合,采用60齒1.5~2模數測速齒輪盤,輸出恒定電平的正弦波電脈沖信號。與磁阻式傳感器相比,測速精度稍高,下限轉速低至10r/min以下。